Le projet PRO-6PO

Une double ligne pilote pour la pré-industrialisation de micro-capteurs, unique en Ile-de-France

L’État et la Région Ile-de-France soutiennent ESIEE Paris et sa plateforme salle blanche,  par le cofinancement du projet PRO-6PO, d’un montant total de 2,3 M€, visant à structurer et renforcer la filière micro et nanotechnologies en Ile-de-France, dans le cadre de l’appel à projets SESAME filières (France 2030) opéré par BPI France. 
 

Objectif
Accélérer la mise sur le marché de capteurs miniatures innovants et de nouveaux composants microélectromécaniques (MEMS) dans le contexte de pénurie actuel, grâce à une préindustrialisation souveraine en Région Ile-de-France.

Le projet PRO-6PO vise à établir une ligne préindustrielle unique en Île-de-France pour produire des microcapteurs sur wafers 6” (diamètre 150 mm). 

Installée au sein des salles blanches ESIEE Paris, cette ligne pilote permettra aux acteurs industriels et académiques de mener sur les mêmes équipements leurs activités de R&D et de préindustrialisation en micro et nanotechnologies, favorisant ainsi le transfert de technologie. 

Durée : 3 ans (décembre 2022 à novembre 2025)
Montant total du projet : 2,3 M€
 

Acquisition de 3 nouveaux équipements

Le cofinancement obtenu a permis l’acquisition fin 2023 de 3 nouveaux équipements pour compléter la chaîne de fabrication 6" et les investissements déjà réalisés. Ils sont compatibles avec les deux formats 4” et 6”, par un changement de support pour basculer facilement de l’un à l’autre.

  • Évaporateur multi-creusets EVA600 (Alliance Concept), pour le dépôt de couches métalliques
  • Bâti PECVD D250L (Corial / Plasma-Therm) pour le dépôt de couches isolantes oxyde et nitrure
  • Bâti de gravure RIE 210-IL (Corial / Plasma-Therm) pour la gravure multi-matériaux par plasma fluoré

Le planning : mise en production sous 2 à 3 ans

La durée totale du projet est de 3 ans, avec une date de démarrage au 1er décembre 2022

Première année (2023)

Elle a été consacrée à l’acquisition des nouveaux équipements via les marchés publics, aux travaux préparatoires et à leur installation.

Deuxième année (2024)

Les équipements seront qualifiés pour mettre en place des procédés de fabrication standard et développer des procédés plus spécifiques adaptés aux différents besoins de la filière. Cela permettra la fabrication des premiers démonstrateurs.

Troisième année (2025)

L’ensemble de la ligne 6 pouces sera utilisée pour la production pour les industriels et la réalisation de démonstrateurs plus complexes ensuite mis à disposition de laboratoires de recherche franciliens et nationaux.

Contacts

Jérôme Clinckx

Directeur des financements internationaux et des relations institutionnelles

Tel : +33(0)6 29 30 41 24
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